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ニュースリリース

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「常温衝撃固化現象を用いたエアロゾルデポジション技術の実用化」で
「第39回 井上春成(はるしげ)賞」受賞

~1998年の「酸化チタン光触媒による多機能タイル」以来2度目の受賞~

独立行政法人産業技術総合研究所の明渡(あけど) 純 首席研究員と、TOTOファインセラミックス株式会社(本社:大分県中津市、社長:佐伯 義光)は、「常温衝撃固化現象を用いたエアロゾルデポジション技術の実用化」で、2014(平成26)年度の「第39回 井上春成(はるしげ)賞」を受賞しました。

同賞は、大学・研究機関等の独創的な研究成果をもとに企業が開発・事業化した優れた技術について、研究者および企業を表彰するもので、独立行政法人科学技術振興機構(JST)の前身組織の初代理事長であり、わが国科学技術の発展に貢献された井上春成氏の業績を鑑みて1976年に創設されました。TOTOでは、1998(平成10)年度の「酸化チタン光触媒による多機能タイル」(東京大学大学院工学系研究科 藤嶋 昭教授[当時]と共同受賞)以来、2度目の受賞となります。

受賞技術の「エアロゾルデポジション(AD)法」とは、セラミックの微粒子を常温のガスに混ぜてタバコの煙のようなエアロゾル状態にし、ノズルを通して高速噴射して基材に衝突させることで、基材の表面に高緻密・高密着なセラミック膜を形成する技術です。「セラミックは焼いてつくるもの」という常識を覆す技術として、さまざまな分野への応用が期待されています。

TOTOでは、1999年より独立行政法人産業技術総合研究所(旧・工業技術院機械技術研究所)と共同研究を開始し、2005年より半導体製造装置向けのAD法によるセラミック膜の技術開発とマーケティングを開始しました。

半導体製造にはプラズマが欠かせませんが、装置内部がプラズマで傷ついて微小なゴミ(パーティクル)が発生すると、歩留まりが悪くなります。AD法によるイットリア(Y2O3)コーティングは、プラズマに対して非常に高い耐食性があることが高く評価され、2012年度後半より半導体製造装置向けの需要が急増しています。

【お詫びと訂正】
7月11日に発表致しました本ニュースリリースにおきまして、独立行政法人産業技術総合研究所との共同研究開始年(誤:1998 正:1999)とNEDOテーマとしての共同研究開始年(誤:1998 正:2001)に誤りがあったため、9月5日に内容を訂正いたしました。
ご迷惑をお掛けしたことを、深くお詫び申し上げます。

ニュースリリース全文及び高解像度画像は、以下よりダウンロードしてご覧ください。
以上に関するお問い合わせはこちらまでお願いいたします。
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