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精密セラミックス&光通信部品

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精密構造部品

半導体・液晶分野において、TOTOセラミック部材は幅広く採用されており、特に超精密プロセス、測定・検査装置用として実績と信頼を獲得しております。
液晶装置向けセラミック部材は、TOTO独自の鋳込み成形技術により大型化に成功し、お客様より高い評価を頂いております。
高精度・高スループットが要求される半導体装置向けには、新素材を品揃えし、より一層お客様のご要望を満足出来るものと考えております。

セラミックガイド軸


主用途:液晶製造・検査機用

大型セラミック部材


主用途:液晶製造・検査機用

高比剛性素材


主用途:半導体製造装置用・精密機器用

超低熱膨張素材


特長:ゼロ膨張素材
サイズ:Max350mm
用途:半導体製造・検査機用ミラー
半導体ウェハー・レチクル周辺部材

測定工具


主用途:現場での精密機械部品測定・検査