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半導体・液晶分野において、TOTOセラミック部材は幅広く採用されており、特に超精密プロセス、測定・検査装置用として実績と信頼を獲得しております。 液晶装置向けセラミック部材は、TOTO独自の鋳込み成形技術により大型化に成功し、お客様より高い評価を頂いております。 高精度・高スループットが要求される半導体装置向けには、新素材を品揃えし、より一層お客様のご要望を満足出来るものと考えております。
主用途:液晶製造・検査機用
主用途:半導体製造装置用・精密機器用
特長:ゼロ膨張素材 サイズ:Max350mm 用途:半導体製造・検査機用ミラー 半導体ウェハー・レチクル周辺部材
主用途:現場での精密機械部品測定・検査