永年培われてきた素材技術と卓越した精密加工技術が生んだ、TOTOの静電チャックは最新の半導体製造装置に採用され、高い評価を得ています。パイオニアとしての豊富な経験とトップサプライヤーとしての実績が高度なニーズにお応えします。
| 外形寸法 | Φ450mm試作対応（各種ウェハサイズ対応、ガラスサイズ対応） |
|---|---|
| 厚み | 4mm〜10mm |
| 吸着面精度 | 平坦度≦3μm 面粗度Ra≦0.25μm |
| 主なアプリケーション | PVD、PCVP、ドライエッチング、スパッタリング、検査装置 |
永年培われてきた素材技術と卓越した精密加工技術が生んだ、TOTOの静電チャックは最新の半導体製造装置に採用され、高い評価を得ています。パイオニアとしての豊富な経験とトップサプライヤーとしての実績が高度なニーズにお応えします。
| 外形寸法 | Φ450mm試作対応（各種ウェハサイズ対応、ガラスサイズ対応） |
|---|---|
| 厚み | 4mm〜10mm |
| 吸着面精度 | 平坦度≦3μm 面粗度Ra≦0.25μm |
| 主なアプリケーション | PVD、PCVP、ドライエッチング、スパッタリング、検査装置 |