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精密セラミックス&光通信部品

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エアスライド

半導体を頂点とする超精密分野において、TOTOセラミック・エアスライドは、長年にわたる実績と信頼を獲得しております。さらに、高剛性、高精度な製品を揃え、またエアスライドシステムに最適な提案など、今まで以上にお客様のご要望に幅広く対応致します。より一層厳しさを増す、超精密プロセス・測定ニーズに対する一つの解決策として自信を持っておすすめいたします。

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用途

  • 半導体・液晶露光装置
  • 半導体・液晶検査装置
  • 高精度形状測定装置
  • 超精密加工装置

エアスライド

ステージ構成例